圧電薄膜共振子、フィルタ、および圧電薄膜共振子の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：吉田稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-013984
公開番号（公開出願番号）：特開2003-204239
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】小型化を図るのに適するとともに優れた共振特性を有する圧電薄膜共振子、これにより構成されるフィルタ、および、そのような圧電薄膜共振子の製造方法を提供すること。【解決手段】圧電薄膜共振子100において、第1の面111およびこれと反対の第2の面112を有する基板110と、第1の面111に接する第1電極膜121、当該第1電極膜121に重なる圧電膜123、および当該圧電膜123に重なる第2電極膜122からなる積層共振体120と、を備え、基板110には、積層共振体120に対応する位置において、第1の面111にて開口する第1開口部111aおよび第2の面112にて開口する第2開口部112aを有しつつ第1の面111に対して略垂直な空隙部110aが開設されていることとした。

請求項（抜粋）：

第1の面およびこれと反対の第2の面を有する基板と、前記第1の面に接する第1電極膜、当該第1電極膜に重なる圧電膜、および当該圧電膜に重なる第2電極膜からなる積層共振体と、を備え、前記基板には、前記積層共振体に対応する位置において、前記第1の面にて開口する第1開口部および前記第2の面にて開口する第2開口部を有しつつ前記第1の面に対して略垂直な空隙部が開設されていることを特徴とする、圧電薄膜共振子。

IPC (3件)：

H03H 9/17 , H03H 3/02 , H03H 9/58

FI (3件)：

H03H 9/17 F , H03H 3/02 B , H03H 9/58 A

Fターム (11件)：

5J108AA07 , 5J108BB07 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108FF04 , 5J108JJ04 , 5J108KK01 , 5J108KK02

引用特許：

審査官引用 (7件)

薄膜配線およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-075183 出願人：日本電気株式会社
金属配線及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-196939 出願人：株式会社東芝
薄膜圧電素子及び薄膜圧電素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-280628 出願人：三菱電機株式会社

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