特許
J-GLOBAL ID：200903025587862318
単結晶製造用冷却制御筒
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-077572
公開番号（公開出願番号）：特開平7-277878
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】【目的】 CZ法において育成される単結晶に対する各温度域ないしは各時期における冷却速度を制御して、所望の熱履歴を付与し、均質かつ高品質な単結晶を製造する。【構成】 壁面の一部もしくは全体が導電性抵抗体により構成され、円周方向に概略周回する発熱電気流路が形成されている冷却制御筒を、単結晶製造装置のチャンバ内に、前記坩堝上方において、成長する前記単結晶を一定間隔をおいて囲繞して配置する。
請求項（抜粋）：
坩堝中の融液から単結晶を引上げる単結晶製造装置のチャンバ内に、前記坩堝上方において、成長する前記単結晶を一定間隔をおいて囲繞して配置される冷却制御筒であって、前記冷却制御筒は、その壁面の一部もしくは全体が導電性抵抗体により構成され、円周方向に概略周回する発熱電気流路が形成されていることを特徴とする単結晶製造用冷却制御筒。
IPC (3件)：
C30B 15/14
, C30B 15/00
, C30B 29/06 502
