特許
J-GLOBAL ID:200903025597872915
セラミックスと金属との接合構造およびこれに使用する中間挿入材
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-153542
公開番号(公開出願番号):特開2000-344584
出願日: 1999年06月01日
公開日(公表日): 2000年12月12日
要約:
【要約】【課題】セラミックスからなる基体2と、基体2に埋設されている金属埋設体5とを備えている第一の部材1であって、接合面9aに金属埋設体5の一部5aが露出している第一の部材1と、金属からなる第二の部材13との接合構造において、接合部分に加わる熱サイクルや機械的応力に対する耐久性を向上させる。【解決手段】第一の部材1の接合面9aと第二の部材13との間に介在する中間挿入材8と、第一の部材の接合面と中間挿入材とを接合する第一の接合層7と、第二の部材13と中間挿入材8とを接合する第二の接合層10とを備えている。中間挿入材8が、複数のセラミックス層11A、11Bと、各セラミックス層の間に介在する少なくとも一つの金属層12との積層体からなる。
請求項(抜粋):
セラミックスからなる基体と、この基体に埋設されている金属埋設体とを備えている第一の部材であって、第一の部材の接合面に金属埋設体の一部が露出している第一の部材と、金属からなる第二の部材との接合構造であって、第一の部材の接合面と第二の部材との間に介在する中間挿入材と、第一の部材の接合面と中間挿入材とを接合する第一の接合層と、第二の部材と中間挿入材とを接合する第二の接合層とを備えており、中間挿入材が、複数のセラミックス層と、各セラミックス層の間に介在する少なくとも一つの金属層との積層体からなることを特徴とする、接合構造。
IPC (4件):
C04B 37/02
, B32B 15/04
, H01L 21/68
, H02N 13/00
FI (4件):
C04B 37/02 A
, B32B 15/04 B
, H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
Fターム (49件):
4F100AA13A
, 4F100AA13C
, 4F100AA19A
, 4F100AA19C
, 4F100AB16B
, 4F100AB16D
, 4F100AB17B
, 4F100AB17D
, 4F100AB24B
, 4F100AB24D
, 4F100AB25B
, 4F100AB25D
, 4F100AB31B
, 4F100AB31D
, 4F100AD04A
, 4F100AD04C
, 4F100AD05A
, 4F100AD05C
, 4F100BA04
, 4F100BA06
, 4F100BA07
, 4F100EC16B
, 4F100EC16D
, 4F100GB41
, 4F100JJ03
, 4F100JK01
, 4F100JK10
, 4G026BA01
, 4G026BA03
, 4G026BA16
, 4G026BA17
, 4G026BB21
, 4G026BB22
, 4G026BB27
, 4G026BB28
, 4G026BC02
, 4G026BE04
, 4G026BF31
, 4G026BF33
, 4G026BF34
, 4G026BF35
, 4G026BF42
, 4G026BF46
, 4G026BF48
, 4G026BF52
, 4G026BG02
, 4G026BH06
, 5F031HA02
, 5F031HA16
引用特許:
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