特許
J-GLOBAL ID：200903025630459468
塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-186577
公開番号（公開出願番号）：特開平10-005677
出願日： 1996年06月27日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】 大型ガラス基板等の枚葉タイプの被塗布基板に対して均一な塗布膜の形成が可能であり、かつ、塗布液の使用効率の高い塗布方法を提供する。【解決手段】 上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給し、この塗布液をスリットから吐出させてビードを形成し、平面形状が矩形の被塗布基板をその1つの対角線方向にほぼ沿って塗布ヘッドの上方を斜め上方向に相対的に移動させ、塗布ヘッドと被塗布基板との間に形成されたビードから被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させる。
請求項（抜粋）：
上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給して前記スリットから吐出させ、平面形状が矩形の被塗布基板をその1つの対角線方向にほぼ沿って前記塗布ヘッドの上方を斜め上方向に相対的に移動させて、前記塗布ヘッドと前記被塗布基板との間に形成されたビードから被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させることによって前記被塗布基板への塗布液の塗布を行うことを特徴とした塗布方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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