特許

J-GLOBAL ID：200903025632677411

欠陥検出装置、および欠陥検出方法

発明者： 吉村 勇気 ,  三宅 淳司
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 俊哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102604
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309287
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】欠陥からの散乱光の受光手段としてラインセンサを用い、被検査対象物がある一方向に搬送される板状体である場合に、欠陥の散乱光の角度依存による影響を受けずに、欠陥の検出を可能とする欠陥検出装置、およびその方法を提供する。【解決手段】板状体の被検査体をある一方向に搬送する搬送機構と、ライン状照明器と、ラインセンサを備え、前記ライン状照明器により照射された光が、前記板状体に存在する欠陥で散乱され、その散乱光が前記ラインセンサに検出されることによって、前記欠陥を検出する暗視野型欠陥検出装置において、前記ライン状照明器と前記ラインセンサとの走査方向が、互いに平行になるように配置された検出ユニットを少なくとも2組備え、前記検出ユニットがそれぞれ前記板状体の搬送方向に対して、異なる角度に配置されたことを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

板状体の被検査体をある一方向に搬送する搬送機構と、ライン状照明器と、ラインセンサとを備え、前記ライン状照明器によって照射された光が、前記板状体に存在する欠陥で散乱され、その散乱光を前記ラインセンサにより検出することによって、前記欠陥を検出する暗視野型の欠陥検出装置であって、 前記ライン状照明器と前記ラインセンサとの走査方向が、互いに平行になるように配置された検出ユニットを少なくとも2組備え、前記検出ユニットがそれぞれ前記板状体の搬送方向に対して、異なる角度に配置されていることを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (1件)：

G01N21/892

FI (1件)：

G01N21/892 A

Fターム (15件)：

2G051AA32 ,  2G051AA37 ,  2G051AA42 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051ED08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• レンチキュラーレンズシートの欠陥検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-025795   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開昭57-124243
  
• 特開昭57-124243
  
• 表面欠陥検出方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-107282   出願人：日本板硝子株式会社