特許
J-GLOBAL ID：200903034450807424
表面欠陥検出方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-107282
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304295
出願日： 1995年05月01日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 線入りまたは網入り板ガラスの表面欠陥を、線または網と区別して検出する。【構成】 一方向に搬送される、内部または表面に高反射率の物体2を含む板ガラス1の表面に存在する欠陥を検出する場合に、板ガラス1の一方の面の側に、その長さ方向が前記一方向と直交する方向に対して角度θをなすように設けられた照明装置LIにより、一方の面を照射し、前記一方の面の側に設けられたラインセンサLにより、前記一方向と直交する方向に対し角度θをなす方向を走査方向として、板ガラス1の一方の面を撮像する。
請求項（抜粋）：
一方向に搬送される、内部または表面に高反射率の物体を含む板状透明物体の表面に存在する欠陥を検出する方法において、前記板状透明物体の一方の面の側に、その長さ方向が前記一方向と直交する方向に対して角度θをなすように設けられた照明装置により、前記一方の面を照明し、前記一方の面の側に設けられたラインセンサにより、前記一方向と直交する方向に対し前記角度θをなす方向を走査方向として、前記板状透明物体の一方の面を撮像する、ことを特徴とする表面欠陥検出方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 400
