特許
J-GLOBAL ID：200903025668586510
荷保管装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-103399
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291607
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルーム内における荷の収納効率を向上させることができる荷保管装置を提供すること。【解決手段】 ラックユニット3には荷収納部4が上下に複数段形成されるとともに、その最下段部の下側にエア通路6が形成される。ラックユニット3の外側に設けられたブロアユニット2内にはメインフィルタ8及びファン9が各荷収納部4毎に対応して備えられとともに、その下部にプレフィルタ10がエア通路6と対応して備えられる。又、ブロアユニット2内のメインフィルタ8、ファン9及びプレフィルタ10以外の空間は流路12を形成する。ファン9は流路12内の第1エア21を吸引し荷収納部4内に通過させるとともに、荷収納部4の内側から出た第2エア23をエア通路6及びプレフィルタ10を介して流路12内に吸引し、クリーンルーム内のエアを循環させる。
請求項（抜粋）：
内外側が開放し、内側から荷の出し入れが行われる複数の荷収納部と、前記荷収納部の外側に設けられたメインフィルタと、エアを前記メインフィルタを介して前記荷収納部内に通過させるためのエア循環手段とを備えた荷保管装置において、前記エア循環手段をメインフィルタの外側に設けたことを特徴とする荷保管装置。
IPC (2件)：
B65G 1/00 521
, H01L 21/02
B65G 1/00 521 D
, H01L 21/02 D
