特許

J-GLOBAL ID：200903025675073315

材料供給装置

発明者： 柏谷 誠 ,  中田 純司
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-236415
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247061
出願日： 2002年08月14日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】多数のタブレットを連続的に供給でき、200μmを超えるような厚さの成膜を行う際にも、十分な量の成膜材料を供給するできる、真空蒸着用の材料供給装置を提供する。【解決手段】回転可能なターレットと、ターレットに装填された成膜材料をターレットの回転軸方向に移動することにより、成膜材料を所定の蒸発位置に移動する移動部材を有する移動手段と、ターレットの回転手段とを有すると共に、ターレットは、成膜材料の装填位置に対応して、移動部材が通過する複数の移動用貫通孔を有し、ターレットの回転中心を中心とする同サイズの円周上に、移動部材および移動用貫通孔が位置することにより、前記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

真空蒸着装置に装着され、所定の蒸発位置に成膜材料を供給する材料供給装置であって、成膜材料を装填される回転可能なターレットと、前記ターレットに装填された成膜材料を、前記ターレットの回転軸の延在方向に移動することにより、成膜材料を所定の蒸発位置に移動する移動部材を有する移動手段と、前記ターレットを回転する回転手段とを有すると共に、前記ターレットは、成膜材料の装填位置に対応して、前記移動部材が通過するための複数の移動用貫通孔を有し、さらに、前記ターレットの回転中心を中心とする同サイズの円周に対応する位置に、前記移動部材および移動用貫通孔が位置することを特徴とする材料供給装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  G01T 1/00 ,  G21K 4/00

FI (3件)：

C23C 14/24 D ,  G01T 1/00 B ,  G21K 4/00 L

Fターム (17件)：

2G083AA03 ,  2G083BB01 ,  2G083CC02 ,  2G083CC10 ,  2G083DD11 ,  2G083DD16 ,  2G083DD17 ,  4K029BA64 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB08 ,  4K029DB10 ,  4K029DB14 ,  4K029DB15 ,  4K029DB21 ,  4K029DB23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄膜作製方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-084196   出願人：キヤノン株式会社, 新技術事業団