特許

J-GLOBAL ID：200903025693526955

真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法、真空装置及びその部品

発明者： 小野 幸子 ,  稲吉 さかえ ,  阿相 英孝 ,  長谷部 雅之
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (3件)： 清水 善廣 ,  阿部 伸一 ,  辻田 幸史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-336602
公開番号（公開出願番号）：特開2005-105300
出願日： 2003年09月29日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

【課題】 ガス放出量の少ない真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法、真空装置及びその部品を提供する。【解決手段】 真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法であって、ポーラス型陽極酸化処理をした後に、バリア型陽極酸化処理を行い、ポーラス型陽極酸化皮膜のポア内全てにバリア型陽極酸化皮膜を成長させることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法であって、ポーラス型陽極酸化処理をした後に、バリア型陽極酸化処理を行い、ポーラス型陽極酸化皮膜のポア内全てにバリア型陽極酸化皮膜を成長させることを特徴とする表面処理方法。

IPC (3件)：

C25D11/12 ,  C25D11/04 ,  C25D11/06

FI (3件)：

C25D11/12 Z ,  C25D11/04 308 ,  C25D11/06 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特公平5-053870号公報(請求項1)
  
• 表面処理アルミニウム材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-344191   出願人：三菱アルミニウム株式会社
• 特許第2900820号公報(請求項1)