金属構造体内面への皮膜形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-133153
公開番号（公開出願番号）：特開2007-302955
出願日： 2006年05月12日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：

【課題】金属管、金属容器等の中空部分を有する金属構造体の内面に、簡単な処理方法によって欠陥の無い良好な耐食性皮膜等の各種皮膜を形成できる方法を提供する。【解決手段】金属構造体の内面に皮膜を形成する方法であって、被処理物である金属構造体が、金属材料によって囲まれた中空部分を有し、且つ開口部を有するものであり、薄膜を形成する方法が、金属構造体の中空部分を密閉状態として内部を排気した後、原料ガスを導入し、該金属構造体を構成する金属材料部分にパルス状の交番電圧を印加して、該金属構造体の中空部分にプラズマを発生させて、プラズマCVD法によって皮膜を形成する方法である、金属構造体内面への皮膜形成方法。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

金属構造体の内面に皮膜を形成する方法であって、被処理物である金属構造体が、金属材料によって囲まれた中空部分を有し、且つ開口部を有するものであり、薄膜を形成する方法が、金属構造体の中空部分を密閉状態として内部を排気した後、原料ガスを導入し、該金属構造体を構成する金属材料部分にパルス状の交番電圧を印加して、該金属構造体の中空部分にプラズマを発生させて、プラズマCVD法によって皮膜を形成する方法である、金属構造体内面への皮膜形成方法。

IPC (3件)：

C23C 16/515 , B65D 25/14 , B65D 1/00

FI (3件)：

C23C16/515 , B65D25/14 Z , B65D1/00 C

Fターム (24件)：

3E033AA01 , 3E033BA07 , 3E033BB08 , 3E033CA14 , 3E062AC03 , 3E062JA01 , 3E062JA07 , 3E062JB24 , 3E062JC01 , 3E062JD03 , 3E062JD06 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030BA28 , 4K030BA38 , 4K030BA42 , 4K030BA44 , 4K030CA02 , 4K030CA15 , 4K030FA01 , 4K030JA03 , 4K030JA17 , 4K030JA18

引用特許：

出願人引用 (1件)

管内壁のセラミックコーティング方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-074028 出願人：株式会社日本製鋼所

前のページに戻る