特許

J-GLOBAL ID：200903025721716277

表面弾性波素子およびその作製方法

発明者： 岩下 節也 ,  樋口 天光 ,  宮澤 弘
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-002568
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196893
出願日： 2000年01月11日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 高周波、高性能、高安定な表面弾性波素子を再現性よく得る。【解決手段】 水晶基板1と該水晶基板1上に形成された圧電材料からなる薄膜2と非圧電材料からなる薄膜3と電極4を具備することを特徴とする。また、圧電材料からなる薄膜2と非圧電材料からなる薄膜3と電極4を水晶の転移温度以下で作製する。

請求項（抜粋）：

水晶基板と該水晶基板上に形成された圧電材料からなる薄膜と非圧電材料からなる薄膜と電極とを具備することを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C

Fターム (10件)：

5J097AA06 ,  5J097AA28 ,  5J097AA31 ,  5J097DD28 ,  5J097DD29 ,  5J097EE08 ,  5J097FF02 ,  5J097FF05 ,  5J097HA03 ,  5J097KK10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-127544   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭52-030360
  

審査官引用 (2件)

• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-127544   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭52-030360