特許
J-GLOBAL ID：200903025799081804

圧電振動片の製造方法、並びに圧電振動片、並びに圧電デバイス、及び電子機器

発明者：
石井 佐知

石井 佐知 について

, 
伯耆原 秋

伯耆原 秋 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-158641
公開番号（公開出願番号）：特開2006-339729
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】 小型化された音叉型圧電振動片を形成する際の電極形成時のフォトリソ工程において、又部に対する露光精度を向上させることができる圧電振動片の製造方法を提供する。【解決手段】 上記課題を解決する圧電振動片の製造方法は、複数の振動腕を備え、音叉型を成す圧電振動片を製造する際における電極形成時のフォトリソグラフィ工程において、マスク20を圧電振動片10の電極形成面に形成したレジスト19に接触させ、複数の前記振動腕間に形成される又部16に対する照射光が垂直に照射される方向に近づくように光源30を傾斜させて露光を行うことを特徴としたものである。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
複数の振動腕を備え、音叉型を成す圧電振動片を製造する際における電極形成時のフォトリソグラフィ工程において、 マスクを圧電振動片の電極形成面に形成したレジストに接触させ、 複数の前記振動腕間に形成される又部の傾斜面に対する照射光が垂直に照射される方向に近づくように所定の角度で光源を傾斜させて露光を行うことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (6件)：
H03H 3/02 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (6件)：
H03H3/02 D ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (7件)：
2F105BB01 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 圧電素子とその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-340834   出願人：ソニー株式会社
  • 特開昭58-146117
  • 特開昭59-074717

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