特許

J-GLOBAL ID：200903025816389737

試料保持装置及びその塵埃除去方法

発明者： 橘内 浩之 ,  島村 あずさ
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-310424
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167643
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】 被吸着体の吸着面をプロセス装置から分解分離することなく、クリーニング可能とする。【構成】 電極板6に誘電体5を積層し、電極板6と被吸着体1との間に電位差を生じさせ、誘電体5の吸着面5aに被吸着体1を保持する試料保持装置であって、少なくとも半導電材料で形成された着脱自在で清浄な板状吸着体1aと、板状吸着体1aに導通部7を介して接続されるとともに直流電源8及びスイッチ9を有し板状吸着体1aと電極板6との間に電界を発生させる回路8aと、電界により吸着面5aの塵埃を板状吸着体1aに付着させた後に板状吸着体1aを取り去る機構とよりなる塵埃除去機構を具備した。【効果】 被吸着体の裏面の汚染が防止できる。

請求項（抜粋）：

電極板に誘電体を積層し、該電極板と被吸着体との間に電位差を生じさせ、前記誘電体の吸着面に前記被吸着体を保持する試料保持装置において、導電性材料又は半導電性材料で形成した着脱自在で清浄な板状吸着体と、該板状吸着体と前記電極板との間に電界を発生させる回路と、該電界により前記吸着面の塵埃を前記板状吸着体に付着させた後に該板状吸着体を取り去る機構とよりなる塵埃除去機構を具備したことを特徴とする試料保持装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/31

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 集塵用静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-219852   出願人：京セラ株式会社