加速度センサおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-004587
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214247
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】加速度の印加によって発生する電荷を効率よく収集できるとともに、高い電荷感度を有し、検出感度の高い加速度センサを提供する。【解決手段】加速度センサ1Aは、圧電素子2と、この圧電素子2の長さ方向両端部を支持する支持枠10,11とを備える。圧電素子2は4層以上の偶数層の圧電体層2a〜2dを積層してなり、圧電素子2の層間および表裏主面に電極が設けられ、層間電極は、加速度が印加されたときに圧電素子に加わる伸びストレスと縮みストレスの変極点付近で長さ方向に分割された電極4と、圧電素子の長さ方向の端部に引き出された電極3,5とで構成される。圧電体層2a〜2dは、加速度が作用した際に、電極の両側の圧電体層において同一極性の電荷がこの電極から取り出されるように厚み方向に分極され、かつ同一の圧電体層内において中央部と両端部とで逆方向となるように分極されている。

請求項（抜粋）：

圧電素子と、この圧電素子の長さ方向両端部を支持する支持部材とを備え、前記圧電素子は4層以上の偶数層の圧電体層を積層してなり、前記圧電素子の層間および表裏主面に電極が設けられ、前記層間電極は、加速度が印加されたときに圧電素子に加わる伸びストレスと縮みストレスの変極点付近で長さ方向に分割された電極と、圧電素子の長さ方向の端部に引き出された電極とで構成され、前記2種類の層間電極が圧電体層を挟んで交互に積層されており、前記圧電素子の厚み方向中央の層間電極が分割された電極であり、前記圧電素子の表裏主面の電極は、発生した電荷を取り出すために、圧電素子の長さ方向の端部に引き出された電極であり、前記圧電体層は、加速度が作用した際に、前記長さ方向の端部に引き出された電極の両側の圧電体層において同一極性の電荷がこの電極から取り出されるように、かつ同一の圧電体層内において中央部と両端部とで逆方向となるように厚み方向に分極されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 , H01L 41/22

FI (3件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 Z , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

圧電体素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-307442 出願人：株式会社村田製作所
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-213889 出願人：株式会社村田製作所
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-154070 出願人：松下電器産業株式会社

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