特許
J-GLOBAL ID:200903025846255336

熱式流速センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-304365
公開番号(公開出願番号):特開平8-136566
出願日: 1994年11月14日
公開日(公表日): 1996年05月31日
要約:
【要約】【目的】 低消費電力かつ連続的測定が可能な熱式流速センサを得る。【構成】 センサ抵抗41,42はそれぞれ気体流の上流、下流側に配置され、ヒータ抵抗43は両者の中央に配置される。定電流回路61は、スイッチング信号63で開閉するスイッチ62を介しヒータ抵抗43に定電流を間欠供給する。このとき、差動増幅器53の出力が流速検出に必要な最低限レベル以上になるようにヒータ抵抗43の必要最小発熱量を確保する。スイッチング信号63のデューティ比は、この必要最小放熱量の確保に十分な値に設定する。間欠供給の周期は、ヒータ抵抗器43の熱時定数の2倍以下とする。流量ゼロの場合、センサ抵抗41,42の抵抗値は等しくブリッジ回路50は平衡し差動増幅器53の出力はゼロとなる。流量増大により、センサ抵抗42は温度が上昇しセンサ抵抗41の温度は下降するため、両抵抗値に差が生じ差動増幅器53の出力は増大する。
請求項(抜粋):
電力の供給を受けて熱を放出するヒータと、このヒータの近傍に設けられると共に温度に応じて抵抗値が変化する測温用抵抗器を有し、前記ヒータから放出された熱の流体による移動によって生じた前記測温用抵抗器の抵抗値の変化に基づいて、流体の流速に応じた検知信号を出力するセンサ回路と、流速を認識可能な最低限の検知信号を前記センサ回路から出力させるのに必要な最低限の熱量を前記ヒータが放出できるように、前記ヒータに対して間欠的に電力を供給するヒータ制御手段とを備えたことを特徴とする熱式流速センサ。
IPC (3件):
G01P 5/10 ,  G01F 1/20 ,  G01F 1/68
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 流量計の流量補正方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-348598   出願人:山武ハネウエル株式会社
  • 特開平4-058111

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