異物検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-012581
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201461
出願日： 2000年01月21日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】検査対象基板が大きくても、検査光の走査(スキャン)が1回で済み、短時間で所定の異物検査を行うことができる異物検査装置を提供すること。【解決手段】検査ステージ2に保持された検査対象基板1の表面1aに対して光源5からの光4を照射し、そのときの検査対象基板1の表面1aからの散乱光8をリニアアレイセンサ9で検出するようにした異物検査装置において、前記リニアアレイセンサ9を、複数個、その長さ方向において直列かつその両端部が所定長さだけオーバーラップするようにして配置するとともに、前記検査ステージ2または前記光源5を含む照射光学系3を、リニアアレイセンサ9の配置方向と直交する方向において直線的に移動するようにした。

請求項（抜粋）：

検査ステージに保持された検査対象基板の表面に対して光源からの光を照射し、そのときの検査対象基板の表面からの散乱光をリニアアレイセンサで検出するようにした異物検査装置において、前記リニアアレイセンサを、複数個、その長さ方向において直列かつその両端部が所定長さだけオーバーラップするようにして配置するとともに、前記検査ステージまたは前記光源を含む照射光学系を、リニアアレイセンサの配置方向と直交する方向において直線的に移動するようにしたことを特徴とする異物検査装置。

Fターム (10件)：

2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051BA10 , 2G051BB09 , 2G051BB11 , 2G051BC06 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB05 , 2G051DA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

ガラス板の欠陥識別検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-143923 出願人：セントラル硝子株式会社
特開平4-166749
特開平4-125455

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