針状物質の作製方法及び針状電極を備えた電界放出素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117092
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333497
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】尖鋭化が容易な針状物質の作製方法を提供することにある。【構成】導電性分子14...が存在する密閉雰囲気中に光ビ-ム7c...を導き、導電性分子14...を励起・分解してSi基板15上に針状に堆積させる。

請求項（抜粋）：

導電性分子が存在する密閉雰囲気中に励起ビ-ムを導き、この励起ビ-ムによって上記導電性分子を励起・分解して基板上に針状に堆積させる針状物質の作製方法。

IPC (2件)：

H01J 9/02 , H01J 1/30

引用特許：

審査官引用 (2件)

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