特許
J-GLOBAL ID:200903025880294294

不良検査方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 由充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-261698
公開番号(公開出願番号):特開平8-101916
出願日: 1994年09月30日
公開日(公表日): 1996年04月16日
要約:
【要約】【目的】 対象物の種類や観測条件などを問わず、対象物に欠陥が存在するかどうかを正しく判別して、対象物の不良を安定して検査できるようにする。【構成】 濃淡画像1の対象物の画像部分1Aには矩形状の検査領域4が設定される。まず検査領域4内の上端位置に矩形状の小領域20を設定し、この位置で小領域20内の画像について平均濃度などの特徴量を計測する。ついで小領域20を所定のピッチだけ移動させ、その位置で小領域20内の画像について特徴量を計測する。以下、小領域20の移動と特徴量の計測とを繰り返し実行した後、各計測値により所定の演算を実行し、その演算結果から対象物の不良を判別する。
請求項(抜粋):
対象物を撮像して得られた画像により前記対象物の不良を検査する方法において、前記画像の検査領域を複数の小領域に分割して、各小領域内の画像についてそれぞれ特徴量を計測した後、各計測値を処理することにより対象物の不良判別を行うことを特徴とする不良検査方法。
IPC (3件):
G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/60
FI (6件):
G06F 15/70 460 A ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 320 ,  G06F 15/70 355 ,  G06F 15/70 360 ,  G06F 15/70 460 C
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭55-157078
  • 特開昭61-239105
  • 特開昭46-025170
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