特許
J-GLOBAL ID：200903025883537996
プローブ針、プローブカードおよびプローブ針の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-146359
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332740
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 接触性に優れて強度性および耐久性にも優れたプローブ針、プローブカードおよびプローブ針の製造方法を提供する。【解決手段】 本発明のプローブ針1は、内側針材3と、その周囲を覆う外側針材4の二重構造を有する。内側針材3はVIII族金属やIB族金属で形成され、外側針材4はVIB 族金属やVIB 族金属やVIIB族金属で形成される。プローブ針1の先端から所定長さまでの外側針材4は、化学処理によって除去され、内側針材3が露出される。内側針材3は接触性に優れるため、被検査物に接触させたときの接触抵抗が低くなり、それに応じて精度がよくなる。また、内側針材3は、強度および耐久性に優れた外側針材4で保護されるため、強度および耐久性に優れる。また、検査針11の脇に不純物除去用のダミー針12を設ければ、被検査物の真の電気的特性を検査でき、検査精度が向上する。
請求項（抜粋）：
被検査物の電気的特性の検査に用いられるプローブ針において、VIII族金属またはIB族金属を含んで形成された内側針材と、前記内側針材の先端部を除いて前記内側針材の外周面を覆う、IVB 族金属、VIB 族金属またはVIIB族金属を含んで形成された外側針材とを備え、前記内側針材の先端部を前記被検査物に接触させて前記被検査物の検査を行うことを特徴とするプローブ針。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 G
, H01L 21/66 B
