マイクロヒータ及びCOセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077195
公開番号（公開出願番号）：特開平9-264862
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】熱絶縁性が高く、消費電力が小さく、量産化が容易なマイクロヒータ及び検出速度が速く、検出精度が高く、消費電力が小さく、量産化が容易で低コストで製造できるCOセンサを提供する。【解決手段】ヒータ6、7は絶縁体ダイアフラム13a、13b上に形成されているので、熱容量が小さくなり、また、ヒータ6、7の周囲には貫通孔14a、14bが配設して熱絶縁性を向上し、熱容量が小さくして、消費電力を低減することができるとともに、測定サイクルを短縮化し、かつ、測定精度を向上させることができる。両ヒータ6、7は、熱絶縁がされた状態で同一基板1上に配置されているので、両ヒータ6、7の抵抗値の変化をブリッジ回路で検出すれば、温度補償がされた状態でCOガスの濃度を検出でき、COガス濃度を迅速、かつ、正確に検出できる。

請求項（抜粋）：

支持基板により支持され、かつ、絶縁体で形成された絶縁体ダイアフラムと、前記絶縁体ダイアフラム上に形成されたヒータと、前記絶縁体ダイアフラムの前記ヒータの周囲に配設した貫通孔と、を備えたことを特徴とするマイクロヒータ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

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公報種別：公開公報出願番号：特願平6-214508 出願人：東芝システム開発株式会社, 株式会社東芝
特開昭63-172948
特開昭51-012193

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