特許
J-GLOBAL ID：200903025911836694
異物検査方法および装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-225836
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051622
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 異物のサイズ、形状を特定できるウエハ異物検査技術を提供する。【解決手段】 検査光照射装置20でウエハ1を斜方照明し、暗視野下のウエハ1での検査光21の散乱光31を散乱光検出器34で検出して異物5の座標位置を特定する異物検査装置10に落射照明装置40および撮像装置45を設ける。散乱光検出器34の検出に基づき異物判定装置35で特定された異物5の座標位置を落射照明装置40による明視野照明下で撮像装置45によって撮像し、この撮像に基づいて異物画像を抽出する。抽出した異物画像により異物のサイズ、形状、色、性状を特定する。【効果】 異物検査装置だけで異物のサイズ、形状、色、性状を特定できるため、異物のレビューを的確かつ迅速しかも安価にて実行できる。
請求項（抜粋）：
検査光照射装置によって被検査物を斜方照明し、暗視野下の被検査物における検査光の散乱光を散乱光検出器によって検出することにより、異物を検査する異物検査方法において、前記散乱光検出器の検出に基づいて特定された異物の座標位置を同一装置内に配置した明視野照明下で撮像し、この撮像に基づいて抽出した異物画像によって少なくとも異物のサイズ、形状、色、性状のいずれか一つを特定することを特徴とする異物検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
G01B 11/24 F
, G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, H01L 21/66 L
