特許
J-GLOBAL ID：200903025931099840
顕微鏡用ガラス層厚み補正器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-251907
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104190
出願日： 1993年10月07日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 試料と対物レンズとの間に介在するガラス層の厚み変動を補正することによって、この厚み変動に起因する顕微鏡の性能低下を生じさせることのない顕微鏡用ガラス層厚み補正器を提供する。【構成】 対物レンズ3下方の光軸21上に設置されたくさび形の上部ウエッジ19と、該上部ウエッジ19下方の光軸21上に設置されたくさび形の下部ウエッジ20とがその斜面19b、20a同士が対向するように設置されるとともに、上部ウエッジ19は固定され、下部ウエッジ20は斜面方向に移動可能とされることにより、互いが相対移動自在とされている。
請求項（抜粋）：
顕微鏡の対物レンズと対象物との間に介在するガラス層を通して顕微鏡により前記対象物の検査を行なうときに、前記ガラス層の厚み変動を補正するための顕微鏡用ガラス層厚み補正器であって、前記対物レンズ下方の光軸上に設置され、その上面が前記光軸に対して垂直な平面とされるとともに、下面が前記上面に対して鋭角に接する平面とされたくさび形の上部ガラス層と、該上部ガラス層下方の前記光軸上に設置され、その上面が前記上部ガラス層の下面に平行な平面とされるとともに、下面が前記上面に対して鋭角に接して前記光軸に対して垂直な平面とされたくさび形の下部ガラス層とを具備してなり、前記上部ガラス層と前記下部ガラス層とが互いに対向する面方向に沿って相対移動自在とされたことを特徴とする顕微鏡用ガラス層厚み補正器。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
