特許

J-GLOBAL ID：200903025950823397

リフトオフ用Al蒸着膜の製造方法

発明者： 倉内 利春 ,  松崎 封徳 ,  箱守 宗人
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-313481
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138184
出願日： 1998年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 リフトオフ用Al膜の剥離が短時間で済み、その結果FEDの生産性が向上するAl蒸着膜の製造方法の提供。【解決手段】 フィールドエミッションディスプレイに用いられるMoエミッター作製工程において、Al蒸着中にO2またはH2O等の酸化性ガスを導入してAl蒸着膜を製造する。かかる酸化性ガスを用いることにより、Al蒸着膜の密度が低下する。

請求項（抜粋）：

フィールドエミッションディスプレイに用いられるMoエミッター作製工程においてリフトオフ用Al蒸着膜を製造する方法において、Al蒸着中に酸化性ガスを導入してAl蒸着膜を製造することを特徴とするリフトオフ用Al蒸着膜の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/285 301 ,  C23C 14/24 ,  H01J 9/02

FI (3件)：

H01L 21/285 301 L ,  C23C 14/24 M ,  H01J 9/02 B

Fターム (21件)：

4K029AA09 ,  4K029BA03 ,  4K029BA11 ,  4K029BB02 ,  4K029CA02 ,  4K029EA05 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB16 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD12 ,  4M104DD16 ,  4M104DD34 ,  4M104DD55 ,  4M104DD65 ,  4M104DD68 ,  4M104EE14 ,  4M104FF06 ,  4M104GG20 ,  4M104HH20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 低電圧駆動型フィールドエミッタアレイの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-308888   出願人：韓国情報通信株式会社, 李鍾徳
• 特開昭53-015273
  
• 特開昭53-015273