特許

J-GLOBAL ID：200903025995815352

炭酸ガスの固化精製及び圧力容器への充填方法

発明者： 平野 正 ,  会田 広司
出願人/特許権者： 東京ガスケミカル株式会社
代理人 (1件)： 大橋 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-196389
公開番号（公開出願番号）：特開2002-013696
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【技術課題】 高純度炭酸ガスを歩留りよく精製し、且つ圧力容器へ充填する方法を提供する。【解決手段】 炭酸ガスの固化精製及び圧力容器への充填方法は、精製工程を経由して製造された炭酸ガスを固化精製容器5内に導入して加冷することにより固化炭酸ガスを製造する炭酸ガス固化工程、前記固化に際して容器5内の気相部に残留した不純物ガスを真空ポンプ15で真空排気する固化精製工程、前記固化精製工程により精製された固化炭酸ガスを温水槽8で加温して気化し、この気化圧を用いて充填ボンベ2内に炭酸ガスを充填する炭酸ガス充填工程、から成り、この固化精製法により高純度の炭酸ガスを精製し、且つ99.9%以上の歩留りで製造された炭酸ガスを自圧で充填ボンベ2に充填することができる。

請求項（抜粋）：

炭酸ガスを加冷された固化精製容器内に導入し固化炭酸ガスを製造する炭酸ガス固化工程、前記固化工程により精製された固化炭酸ガスを加温して気化し、この気化圧を用いて高圧容器に炭酸ガスを充填する炭酸ガス充填工程からなる炭酸ガスの固化精製及び圧力容器への充填方法。

IPC (4件)：

F17C 5/06 ,  B01D 7/02 ,  C01B 31/20 ,  C01B 31/22

FI (4件)：

F17C 5/06 ,  B01D 7/02 ,  C01B 31/20 B ,  C01B 31/22

Fターム (12件)：

3E072AA01 ,  3E072DA05 ,  3E072GA30 ,  4D076BD07 ,  4D076EA02Z ,  4D076EA12Z ,  4D076HA20 ,  4D076JA02 ,  4G046JB06 ,  4G046JC07 ,  4G046LA06 ,  4G046LA08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガス精製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-351310   出願人：東京エレクトロン株式会社
• ガスの充填方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-073766   出願人：日本酸素株式会社
• ガス精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-082126   出願人：東京エレクトロン株式会社