特許
J-GLOBAL ID:200903026008598279

高熱伝導窒化ケイ素セラミックスならびにその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 須藤 政彦 (外1名) ,  須藤 政彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-348099
公開番号(公開出願番号):特開平9-165265
出願日: 1995年12月14日
公開日(公表日): 1997年06月24日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 高熱伝導窒化ケイ素セラミックスならびにその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化ケイ素原料粉末に、焼結助剤および種結晶とするβ-窒化ケイ素単結晶を加えて得られる混合粉末を分散媒に分散してスラリーを調製し、これをシート成形法や押し出し成形法などの成形法により成形して得られるβ-窒化ケイ素単結晶を面内に配向させた窒化ケイ素成形体を、脱脂した後、必要により、ホットプレス処理などにより緻密化し、更に、1〜100気圧の窒素雰囲気中、1700〜2000°Cで焼結することを特徴とする一方向に窒化ケイ素結晶が配向した組織を持ち、結晶の配向方向に対して100〜150W/mKの熱伝導性を持つ窒化ケイ素焼結体の製造方法。
請求項(抜粋):
窒化ケイ素原料粉末に、焼結助剤および種結晶とするβ-窒化ケイ素単結晶を加えて得られる混合粉末を分散媒に分散してスラリーを調製し、これをシート成形法や押し出し成形法などの成形法により成形して得られるβ-窒化ケイ素単結晶を面内に配向させた窒化ケイ素成形体を、脱脂した後、必要により、ホットプレス処理などにより緻密化し、更に、1〜100気圧の窒素雰囲気中、1700〜2000°Cで焼結することを特徴とする一方向に窒化ケイ素結晶が配向した組織を持ち、結晶の配向方向に対して100〜150W/mKの熱伝導性を持つ窒化ケイ素焼結体の製造方法。
IPC (4件):
C04B 35/584 ,  C04B 35/64 ,  C04B 35/638 ,  C04B 35/645
FI (7件):
C04B 35/58 102 C ,  C04B 35/58 102 P ,  C04B 35/64 L ,  C04B 35/64 A ,  C04B 35/64 B ,  C04B 35/64 301 ,  C04B 35/64 302 B
引用特許:
審査官引用 (2件)

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