特許

J-GLOBAL ID：200903026016467850

距離測定装置

発明者： 奈良 圭 ,  松浦 敏男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-242677
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069099
出願日： 1992年08月18日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】本発明は、距離測定装置において、移動鏡の鏡面長を大きくすることなく測定範囲を広げる。【構成】1枚の移動鏡8に対向する複数の干渉式測長手段12、13、14を移動方向への鏡面の長さに対して短い間隔L1(=L2=L3=L4)づつ離して配列し、移動鏡8の移動に応じて干渉式測長手段12、13、14を切り換えることにより、移動鏡8の鏡面長さに対して広い範囲まで鏡面までの距離の測定範囲を拡張することができる。

請求項（抜粋）：

移動鏡の反射面に光束を照射し、該光束の反射光に基づいて前記移動鏡までの距離を測定する測長手段を有する距離測定装置において、前記移動鏡は、該移動鏡の移動方向に、前記移動鏡の移動距離より短い長さの反射面を有しており、前記測長手段は、前記反射面の長さよりも短い間隔で前記移動方向に対して複数配置され、前記複数の測長手段の少なくとも1つからの光束を前記移動鏡の反射面に対して照射し、前記少なくとも1つの測長手段の測定結果に基づいて前記距離を測定することを特徴とする距離測定装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ステージ測長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-202909   出願人：富士通株式会社