特許
J-GLOBAL ID:200903026018007988
顕微鏡、三次元画像生成方法、三次元画像を生成する制御をコンピュータに行わせるプログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大菅 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-187987
公開番号(公開出願番号):特開2004-029537
出願日: 2002年06月27日
公開日(公表日): 2004年01月29日
要約:
【課題】天然色(カラー)の三次元表面像に焦点が合っていない部分が含まれないようにする。【解決手段】三次元表面像を得るために、まず、二次元走査スキャナ3及び光検出器9を用いて、複数のステージ位置において共焦点画像信号を取得する。処理装置11はその信号に基づいて、各画素について輝度情報が最大となる時のステージ7と試料6の光軸方向の相対距離を示す高さ情報を取得する。続いて、カラーカメラ17を用いて、複数のステージ位置においてカラー画像データを取得する。処理装置11は、複数のカラー画像データに基づいて、各画素についてカラーデータが最大となる色情報を生成し、高さ情報に基づいて生成された試料の表面の三次元画像を色情報と合成することにより着色された三次元画像を生成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源から発した光を試料上に集光する対物レンズと、
前記試料からの反射光を共焦点絞りを通過させて検出して共焦点画像を示す信号を出力する検出器と、
前記対物レンズと前記試料を載置するステージとの前記光源の光軸方向の相対距離を変化させる駆動手段と、
前記検出器の信号に基づいて、前記試料の表面で前記共焦点画像の焦点が合った時の前記相対距離を示す高さ情報を求める高さ情報取得手段と、
前記対物レンズを介して前記試料のカラー画像データを取得するカラー画像撮像手段と、
異なる複数の前記相対距離において撮影された複数のカラー画像データに基づいて焦点合成された色情報を生成する色情報生成手段と、
前記高さ情報に基づいて生成された前記試料の表面の三次元画像を前記色情報と合成することにより着色された三次元画像を生成する着色手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。
IPC (9件):
G02B21/00
, G01B11/02
, G01B11/24
, G02B21/26
, G02B21/36
, G02B26/10
, G06T1/00
, G06T3/00
, G06T17/40
FI (12件):
G02B21/00
, G01B11/02 Z
, G02B21/26
, G02B21/36
, G02B26/10 C
, G02B26/10 104
, G06T1/00 300
, G06T1/00 315
, G06T1/00 510
, G06T3/00 300
, G06T17/40 A
, G01B11/24 A
Fターム (65件):
2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD10
, 2F065FF10
, 2F065FF41
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG12
, 2F065GG24
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL13
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065LL62
, 2F065LL65
, 2F065MM16
, 2F065PP03
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ03
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ29
, 2F065SS13
, 2F065UU07
, 2H045AB01
, 2H045BA12
, 2H052AA08
, 2H052AD09
, 2H052AD19
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
, 5B050AA02
, 5B050AA03
, 5B050BA04
, 5B050BA06
, 5B050DA07
, 5B050EA09
, 5B050EA19
, 5B050EA28
, 5B050FA02
, 5B057AA01
, 5B057AA10
, 5B057BA02
, 5B057BA17
, 5B057CA01
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB01
, 5B057CB08
, 5B057CB13
, 5B057CB16
, 5B057CE08
, 5B057CE17
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
走査顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-180647
出願人:株式会社キーエンス
審査官引用 (1件)
-
走査顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-180647
出願人:株式会社キーエンス
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