特許

J-GLOBAL ID：200903026024998449

フライアイレンズおよびそれを備えた投影露光装置

発明者： 山中 幸治
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 高橋 詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065609
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258610
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、絞りを利用してフライアイレンズの一部を覆った状態で照明光を透過させて露光した場合であっても、照明効率の均一性を良好にすることができ、照明光のコヒーレンシイσの方向依存性を低減することができるフライアイレンズとそれを備えた投影露光装置の提供を目的とする。【解決手段】 本発明は、断面扇形環状体のエレメントレンズ21からなるレンズユニット22から少なくとも外周部が構成されてなる。更に、断面扇形環状体のエレメントレンズ21が周方向に複数連続されて環状のレンズユニット22が構成され、このレンズユニットにおいて外径の異なるものが複数、同心円状に組み合わされて、前記エレメントレンズが放射状に同心円配列された環状のフライアイレンズが具備されてなる構成が好ましい。

請求項（抜粋）：

断面扇形環状体のエレメントレンズからなるレンズユニットから少なくとも外周部が構成されてなることを特徴とするフライアイレンズ。

IPC (3件)：

G02B 3/00 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 3/00 A ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (7件)：

2H097BB01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046AA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB13 ,  5F046DA12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-112395   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭63-150803