特許

J-GLOBAL ID：200903026112066114

検査装置

発明者： 北村 敦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-118496
公開番号（公開出願番号）：特開2009-267306
出願日： 2008年04月30日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【課題】半導体ウエハ等の縁部における欠陥を検査する検査装置に関し、被検査物の縁部からの散乱光を確実に検出する装置の提供。【解決手段】被検査物Wを移動可能に保持する回転テーブル11と、前記被検査物Wの縁部に光を照射する照明部13と、前記縁部で発生する散乱光を受光する受光部15と、前記被検査物Wの移動に対応して変動し前記縁部からの正反射光が前記受光部15に入射することを制限する遮光部33とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査物を移動可能に保持する保持部と、 前記被検査物の縁部に光を照射する照明部と、 前記縁部で発生する散乱光を受光する受光部と、 前記被検査物の移動に対応して変動し前記縁部からの正反射光が前記受光部に入射することを制限する遮光部と、 を備えてなることを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/956

FI (2件)：

H01L21/66 J ,  G01N21/956 A

Fターム (18件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB03 ,  2G051AB05 ,  2G051AB07 ,  2G051AB08 ,  2G051AC21 ,  2G051BB01 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウエーハ用検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-042398   出願人：本多エレクトロン株式会社, 東芝セラミックス株式会社