特許
J-GLOBAL ID：200903041171216820
ウエーハ用検査装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
丸岡 裕作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-042398
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243465
出願日： 2002年02月19日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】 ウエーハの周端縁が面取りされていても、撮像カメラの位置を逐一移動させることなく、厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に見ることができるようにして、操作性を向上させるとともに、撮像精度を向上させ、欠陥の抽出精度の向上を図る。【解決手段】 円盤状のウエーハWを回転可能に支持する支持部10と、回転させられるウエーハWの周端縁Sを連続的に撮像する周端縁撮像部40と、周端縁Sを照明する周端縁照明部42と、ノッチNを撮像するノッチ撮像部50と、ノッチNを照明するノッチ照明部52と、周端縁撮像部40及びノッチ撮像部50で撮像した撮像データを処理する制御部70とを備え、周端縁撮像部40を、ウエーハWの周端縁Sの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラ41を配置して構成し、ノッチ撮像部50を、ノッチNの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラ51を配置して構成した。
請求項（抜粋）：
円盤状のウエーハを回転可能に支持する支持部と、該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と、該周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において、上記周端縁撮像部を、上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成したことを特徴とするウエーハ用検査装置。
Fターム (4件)：
4M106AA01
, 4M106BA04
, 4M106CA38
, 4M106DB01
出願人引用 (19件)
全件表示
審査官引用 (3件)
前のページに戻る
