特許

J-GLOBAL ID：200903026122285701

炭素との親和度が高い金属を電極として備える電子素子

発明者： 韓 仁 澤 ,  朴 永 俊
出願人/特許権者： 三星エスディアイ株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-012946
公開番号（公開出願番号）：特開2003-331711
出願日： 2003年01月22日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 炭素との親和度が高い金属を電極として備える電子素子を提供する。【解決手段】 化学気相蒸着法を用いて炭素ナノチューブが電極に蒸着される電素素子であって、反応ガスのうち炭素との反応エンタルピーが酸素との反応エンタルピーより小さい金属から形成された電極を備える電子素子。よって、電極として用いる金属が酸素より炭素との結合速度が一層速くて炭化金属膜を形成することにより、電極の酸化を防いで炭素ナノチューブが電極上に容易に蒸着できる。

請求項（抜粋）：

化学気相蒸着法を用いて炭素ナノチューブが電極に蒸着される電子素子において、反応ガスのうち炭素との反応エンタルピーが酸素との反応エンタルピーより小さい金属から形成された電極を備える電子素子。

IPC (5件)：

H01J 1/304 ZNM ,  C01B 31/02 101 ,  H01J 9/02 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 29/06 601

FI (5件)：

C01B 31/02 101 F ,  H01J 9/02 B ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 29/06 601 N ,  H01J 1/30 ZNM F

Fターム (38件)：

4G146AA07 ,  4G146AA09 ,  4G146AB07 ,  4G146AD29 ,  4G146BA09 ,  4G146BA11 ,  4M104AA01 ,  4M104AA10 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB36 ,  4M104DD43 ,  4M104DD44 ,  4M104DD45 ,  4M104GG08 ,  4M104HH20 ,  5C127BA09 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127CC03 ,  5C127CC10 ,  5C127DD08 ,  5C127DD09 ,  5C127DD12 ,  5C127DD38 ,  5C127DD72 ,  5C127DD88 ,  5C127EE17 ,  5C135AA09 ,  5C135AA15 ,  5C135AB02 ,  5C135AB07 ,  5C135AC03 ,  5C135AC12 ,  5C135AC29 ,  5C135HH04 ,  5C135HH15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電子放出素子とその製造方法、および該電子放出素子を使用した画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-220445   出願人：株式会社リコー
• カーボンナノチューブの製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008461   出願人：キヤノン株式会社
• 白色光源及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-177789   出願人：李鉄真, 株式会社日進ナノテック