特許

J-GLOBAL ID：200903026135787552

有機薄膜の低圧蒸着

発明者： フォレスト、スチーブン、アール ,  バーロウズ、ポール ,  バン、ブラディミール、エス
出願人/特許権者： ザ、トラスティーズ オブ プリンストン ユニバーシティ
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-521253
公開番号（公開出願番号）：特表2001-523768
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】基体58上に有機薄膜を形成する方法であって、その方法は、複数の有機前駆物質(14、48)を気相で与え、前記複数の有機前駆物質(14、48)を減圧下で反応させる工程を有する。そのような方法により製造された薄膜及びそのような方法を実施するのに用いられる装置も含む。本方法は、有機発光デバイスの形成及び他のディスプレイ関連技術によく適している。

請求項（抜粋）：

基体上に有機薄膜を形成する方法において、 複数の有機前駆物質を気相で与え、 基体を存在させて、大気の常態値以下の圧力で前記複数の有機前駆物質を反応させ、該基体上に薄膜を形成する、諸工程を有する、上記方法。

IPC (3件)：

C23C 16/00 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

C23C 16/00 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (27件)：

3K007AB03 ,  3K007BA07 ,  3K007CA01 ,  3K007CA06 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K030AA09 ,  4K030AA16 ,  4K030AA24 ,  4K030BA61 ,  4K030EA01 ,  4K030EA06 ,  4K030GA06 ,  4K030GA12 ,  4K030GA14 ,  4K030JA09 ,  4K030KA09 ,  4K030KA23 ,  4K030KA26 ,  4K030KA28 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-307255
  
• 全方向同時蒸着重合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-323808   出願人：日本真空技術株式会社
• 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-028659   出願人：出光興産株式会社
• 成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-087215   出願人：ソニー株式会社
• 特開平4-045259