特許

J-GLOBAL ID：200903026138993358

密閉コンテナ、保管装置および電子部品搬送システム、ならびに電子部品の保管および搬送方法

発明者： 嵯峨 幸一郎
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165447
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353738
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】不活性ガスを過剰に供給せずに、電子部品上への自然酸化膜の成長を防止することができる密閉コンテナ、保管装置および電子部品搬送システムならびに電子部品の保管および搬送方法を提供する。【解決手段】電子部品13を内部に収納し、前記内部を不活性ガス雰囲気に維持する密閉コンテナ1であって、内部の酸素濃度および水分濃度を測定する測定計31、32と、内部に電子部品を収納した時点からの経過時間を計測する計時手段33と、酸素濃度および水分濃度の時間的積分値を演算する手段と、前記積分値を予めそれぞれ設定された所定のしきい値と比較し、しきい値との大小を判定する手段と、酸素濃度積分値と水分濃度積分値の少なくとも一方が、しきい値を超えたことを報知する報知手段とを有する密閉コンテナ。およびそれを用いた電子部品の保管および搬送方法。

請求項（抜粋）：

不活性ガス雰囲気中に電子部品を収納する密閉コンテナであって、不活性ガスで置換された密閉空間の酸素濃度を測定する酸素濃度計と、前記密閉空間の水分濃度を測定する水分濃度計と、前記密閉空間に前記電子部品を収納した時点からの経過時間を計測する計時手段と、前記経過時間を予め設定された所定のしきい値と比較し、前記しきい値との大小を判定する判定手段と、前記経過時間が前記しきい値を超えたことを報知する報知手段とを有する密閉コンテナ。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 V ,  B65D 85/38 R

Fターム (21件)：

3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA13 ,  3E096DB10 ,  3E096FA02 ,  3E096FA04 ,  3E096GA20 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA09 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031NA04 ,  5F031NA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-182590   出願人：富士通株式会社