特許
J-GLOBAL ID:200903026139390886
薄膜ガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山口 巖 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-326590
公開番号(公開出願番号):特開2000-146884
出願日: 1998年11月17日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】 感応電極層の絶縁層への付着性を向上させ、かつガス感度の確保を可能とする。【解決手段】 絶縁層3と感応層電極5との間に、絶縁層への付着性に優れかつ感応層電極5への拡散の少ない金属からなる電極接合層4を設けることにより、掲記課題の解決を図る。電極接合層としては、TaまたはTiを用いる。
請求項(抜粋):
SnO2 からなりガスに感応する感応層に接合される感応層電極と絶縁層との間に、この絶縁層への付着性に優れかつ前記感応層電極への拡散が少ない金属からなる電極接合層を形成したことを特徴とする薄膜ガスセンサ。
FI (2件):
G01N 27/12 C
, G01N 27/12 B
Fターム (17件):
2G046AA02
, 2G046AA11
, 2G046AA19
, 2G046AA21
, 2G046AA24
, 2G046BA01
, 2G046BB02
, 2G046BC05
, 2G046BE03
, 2G046EA02
, 2G046EA09
, 2G046EB01
, 2G046FB02
, 2G046FE31
, 2G046FE39
, 2G046FE41
, 2G046FE44
引用特許:
審査官引用 (2件)
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ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-160400
出願人:株式会社トクヤマ, フィガロ技研株式会社
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ガスセンサ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-278103
出願人:エルジー電子株式会社
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