特許

J-GLOBAL ID：200903026181681599

静電容量型圧力センサおよびその製造方法並びに静電容量型圧力センサに用いるセンサ用構造体

発明者： 鈴木 康利 ,  石王 誠一郎 ,  藤井 哲夫 ,  島岡 敬一 ,  船橋 博文
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206688
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021565
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】 下部電極と圧力印加に伴い変位する可動電極との間の静電容量変化に基づいて印加圧力を検出する静電容量型圧力センサにおいて、下部電極の面積の減少を抑制し、感度の低下を防止する。【解決手段】 基板10と、基板10の一面に形成された下部電極30と、下部電極10の上に空洞部61を介してダイアフラム状の可動電極40と、基板10に形成され基板10の他面側の外部から下部電極30に到達する開口部11とを備え、下部電極30には、開口部11と空洞部61とを連通する複数個の孔部31が設けられている。基板10の開口部11から当該複数個の孔部31をエッチング液注入口として、下部電極30と可動電極40との間の犠牲層エッチングを行うことができるため、犠牲層エッチング液の注入領域において下部電極を除去することなく空洞部61を形成することができる。

請求項（抜粋）：

基板(10)と、前記基板の一面に形成された下部電極(30)と、前記下部電極の上に前記下部電極と所定の間隔を隔てて形成されたダイアフラム状の可動電極(40)と、前記下部電極と前記可動電極との空隙に形成された空洞部(61)と、を備え、圧力が印加されたときに前記可動電極が変位し、この変位に伴う前記可動電極と前記下部電極との間の静電容量の変化に基づいて、印加圧力を求めるようにした静電容量型圧力センサに用いる構造体であって、前記下部電極には、前記基板側から前記空洞部側へ貫通する少なくとも一つ以上の孔部(31)が形成されていることを特徴とする静電容量型圧力センサ用構造体。

IPC (3件)：

G01L 9/12 ,  G01L 13/06 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L 9/12 ,  G01L 13/06 C ,  H01L 29/84 Z

Fターム (24件)：

2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG24 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112CA35 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA12 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA07 ,  4M112EA10 ,  4M112EA12 ,  4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 表面マイクロ加工された対称形差圧センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-030510   出願人：ヴァイサラオイ
• 静電容量型圧力センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-325335   出願人：株式会社豊田中央研究所
• 変換装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-198078   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭63-025982