リニアモータを用いた駆動装置、ビーム加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：黒田壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-226766
公開番号（公開出願番号）：特開2003-047230
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】可動子としてのコイルを冷却するための冷却管の寿命を延ばすことができる小型で安価且つ軽量な該可動子を高速移動できる構成のムービングコイル型のリニアモータを用いた駆動装置、及び該駆動装置を使用したビーム加工装置を提供すること。【解決手段】コイル支持体14に、Yテーブル5yの移動方向と平行な貫通孔14aを形成し、コイル12yを冷却する冷却液を循環させるための冷却管18を、貫通孔14aに、コイル支持体14と相対移動可能に挿通させて配設する。これにより、可動子であるコイル11yの移動時に冷却管18が追従移動しない構成となり、コイル12yの移動時に冷却管18が屈伸することがなく、冷却管18の寿命を延ばすことができる。また、冷却管18が可動子の移動時の負荷として作用しないので、該可動子を高速で移動させることができる。

請求項（抜粋）：

永久磁石を固定子として基体に配設し、該永久磁石に対向するコイルを該基体上のリニアガイドに沿って移動する移動要素に可動子として配設し、該コイルの励磁により該固定子と可動子との間に発生する推力によって、上記移動要素を直線的に移動させる可動コイル型のリニアモータを用いた駆動装置において、上記移動要素に、該移動要素の移動方向と平行な貫通孔を形成し、上記コイルを冷却する冷却液を循環させるための冷却管を、該移動要素と相対移動可能に該貫通孔に挿通させて配設したことを特徴とするリニアモータを用いた駆動装置。

IPC (4件)：

H02K 41/02 , B23K 26/08 , B23Q 1/30 , H02K 41/03

FI (5件)：

H02K 41/02 Z , B23K 26/08 D , B23Q 1/30 , H02K 41/03 A , B23Q 1/14 A

Fターム (22件)：

3C048BB11 , 3C048CC04 , 3C048DD01 , 3C048EE02 , 4E068CB05 , 4E068CE04 , 4E068CE09 , 5H641BB06 , 5H641BB15 , 5H641BB16 , 5H641BB18 , 5H641GG03 , 5H641GG12 , 5H641GG15 , 5H641GG26 , 5H641HH02 , 5H641HH05 , 5H641JA03 , 5H641JA09 , 5H641JB05 , 5H641JB09 , 5H641JB10

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭57-083152
リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-195113 出願人：株式会社安川電機
密閉型電動機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-204302 出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原電産

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