特許
J-GLOBAL ID：200903026196884500
クリーンルームの空気清浄性能評価方法、装置及びプログラムを記録した可読記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164576
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014112
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 少ない実測データを用いて、クリーンルーム1の空気清浄度を、高い信頼性をもって迅速に評価する。また、クリーンルーム1の空気清浄度の外乱の影響に対する回復性能を表す時間変化特性を評価する。【解決手段】 シミュレータ40によりクリーンルーム1内の互いに異なる複数位置の汚染物質濃度を計算する。こうして得られたシミュレーション結果の一部を、汚染物質濃度測定手段30による実測結果(汚染物質濃度)と比較して、シミュレータ40による計算の妥当性を判定手段50により判定する。妥当性が確認された場合には、シミュレーション結果から、空気清浄度評価手段41によりクリーンルームの空気清浄度を評価する。さらに、特定時刻における空気清浄度を評価した場合には、、これに基づいて、時間変化特性評価手段42によりクリーンルームの空気清浄度の時間変化特性を評価する。
請求項（抜粋）：
シミュレータによってクリーンルーム内の複数位置における汚染物質濃度を計算し、こうして得られた複数の汚染物質濃度の一部を、汚染物質濃度測定手段によりクリーンルーム内の少なくとも1点において測定された汚染物質濃度と比較することによって、前記シミュレータによる計算の妥当性を判定し、妥当性が確認された場合に前記シミュレータにより計算される複数の汚染物質濃度を用いてクリーンルームの空気清浄度を評価することを特徴とするクリーンルームの空気清浄性能評価方法。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, G01N 15/06
, H01L 21/02
F24F 7/06 C
, G01N 15/06 D
, H01L 21/02 Z
