特許
J-GLOBAL ID：200903026199878470

層間絶縁膜用感光性組成物及びパターン化層間絶縁膜の形成方法

発明者：
長原 達郎

長原 達郎 について

, 
松尾 英樹

松尾 英樹 について


出願人/特許権者：
クラリアント ジャパン 株式会社

クラリアント ジャパン 株式会社 について


代理人 (5件)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  福本 積 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-209957
公開番号（公開出願番号）：特開2004-053838
出願日： 2002年07月18日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】保存安定性に優れ、得られる層間絶縁膜の膜厚限界が向上する感光性組成物を提供すること。【解決手段】一般式:-〔SiR1(NR2 )1.5 〕-(式中、R1 は、各々独立に、炭素数1〜3のアルキル基又は置換もしくは無置換フェニル基を表し、R2 は、各々独立に、水素、炭素数1〜3のアルキル基又は置換もしくは無置換フェニル基を表す)を基本構成単位とし、その最大で50モル%をシラザン結合以外の結合基に代替してなる重量平均分子量500〜200,000の変性ポリシルセスキアザン及び光酸発生剤を含むことを特徴とする層間絶縁膜用感光性組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
一般式:-〔SiR1(NR2 )1.5 〕-(式中、R1 は、各々独立に、炭素数1〜3のアルキル基又は置換もしくは無置換フェニル基を表し、R2 は、各々独立に、水素、炭素数1〜3のアルキル基又は置換もしくは無置換フェニル基を表す)を基本構成単位とし、その最大で50モル%をシラザン結合以外の結合基に代替してなる重量平均分子量500〜200,000の変性ポリシルセスキアザン及び光酸発生剤を含むことを特徴とする層間絶縁膜用感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F7/075 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312
FI (4件)：
G03F7/075 511 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/312 D ,  H01L21/30 502R
Fターム (17件)：
2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BF30 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  5F058AA10 ,  5F058AC03 ,  5F058AC07 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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