特許
J-GLOBAL ID：200903098315390996

層間絶縁膜用感光性組成物及びパターン化層間絶縁膜の形成方法

発明者：
長原 達郎

長原 達郎 について

, 
松尾 英樹

松尾 英樹 について


出願人/特許権者：
クラリアント ジャパン 株式会社

クラリアント ジャパン 株式会社 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-297107
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107937
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：
【要約】【課題】 層間絶縁膜用感光性組成物の露光パターンの解像度を高めること。【解決手段】 本発明による感光性組成物は、一般式:-〔SiR1 (NR2 )1.5 〕-を基本構成単位とし、さらに一般式:-〔SiR1 2 NR2 〕-及び/又は〔SiR1 3 (NR2 )0.5 〕-で表される他の構成単位を前記基本構成単位に対して0.1モル%〜100モル%含有する数平均分子量100〜100,000の変性ポリシルセスキアザン(前記式中、R1 、R2 の定義は明細書に記載)と、光酸発生剤と、形状安定化剤として水溶性化合物とを含んで成る。特に好適な水溶性化合物は、2-ニトロアニリン、3-ニトロアニリン、4-ニトロアニリン、2-ニトロ-4-アミノトルエン、炭酸プロピレン、炭酸エチレン及び水溶性アクリルポリマーである。
請求項（抜粋）：
一般式:-〔SiR1 (NR2 )1.5 〕-を基本構成単位とし、さらに一般式:-〔SiR1 2 NR2 〕-及び/又は〔SiR1 3 (NR2)0.5 〕-で表される他の構成単位を前記基本構成単位に対して0.1モル%〜100モル%含有する数平均分子量100〜100,000の変性ポリシルセスキアザン(前記式中、R1 は、各々独立に、炭素数1〜3のアルキル基又は置換もしくは無置換フェニル基を表し、R2 は、各々独立に、水素、炭素数1〜3のアルキル基又は置換もしくは無置換フェニル基を表す)と、光酸発生剤と、形状安定化剤として水溶性化合物とを含んで成る層間絶縁膜用感光性組成物。
IPC (12件)：
G03F 7/039 601 ,  C08G 77/62 ,  C08K 5/00 ,  C08L 83/16 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768
FI (12件)：
G03F 7/039 601 ,  C08G 77/62 ,  C08K 5/00 ,  C08L 83/16 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/30 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/312 C ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/90 Q
Fターム (49件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE08 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CA41 ,  2H025CB06 ,  2H025CB32 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  2H025CC20 ,  2H025DA40 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA30 ,  2H096BA11 ,  2H096EA04 ,  2H096GA01 ,  2H096HA01 ,  4J002CP211 ,  4J002EE038 ,  4J002EE058 ,  4J002EH007 ,  4J002EK006 ,  4J002EL099 ,  4J002EQ016 ,  4J002ES007 ,  4J002EU119 ,  4J002EU186 ,  4J002EV216 ,  4J002FD329 ,  4J002GP03 ,  4J035JA03 ,  4J035LB16 ,  5F033RR23 ,  5F033RR27 ,  5F033SS22 ,  5F033XX03 ,  5F058AC03 ,  5F058AC06 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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