特許

J-GLOBAL ID：200903026235973922

ナノインプリント用金型、ナノパターンの形成方法及び樹脂成型物

発明者： 堀 勝 ,  平松 美根男 ,  加納 浩之 ,  杉山 徹 ,  片山 幸久 ,  吉田 怜
出願人/特許権者： 堀 勝 ,  平松 美根男 ,  トヨタ自動車株式会社
代理人 (4件)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  早川 康 ,  関口 鶴彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-253441
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108649
出願日： 2005年09月01日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】 ナノインプリントにおける金型と樹脂層の離型性を向上させ、金型の耐久性を向上させる。【解決手段】 樹脂成型用金型表面にカーボンナノウォール層を有することを特徴とするナノインプリント用金型、この金型を用いたナノパターンの形成方法、及び得られる樹脂成型物。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

樹脂成型用金型表面にカーボンナノウォール層を有することを特徴とするナノインプリント用金型。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/452 ,  C23C 16/509

FI (4件)：

H01L21/30 502D ,  C23C16/26 ,  C23C16/452 ,  C23C16/509

Fターム (22件)：

4G146AA07 ,  4G146AB07 ,  4G146AC01A ,  4G146AC01B ,  4G146BA11 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC09 ,  4G146BC25 ,  4G146BC31B ,  4G146BC33B ,  4G146BC41 ,  4G146DA03 ,  4G146DA33 ,  4K030BA27 ,  4K030CA02 ,  4K030EA01 ,  4K030FA03 ,  4K030FA04 ,  4K030KA25 ,  4K030LA11 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

• カーボンナノチューブのパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-337441   出願人：日本電気株式会社