真空蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西川惠清 , 森厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-006241
公開番号（公開出願番号）：特開2008-169456
出願日： 2007年01月15日
公開日（公表日）： 2008年07月24日
要約：

【課題】複数の蒸発源から気化した物質の個々の蒸着速度を正確に計測することができ、共蒸着の濃度比率を正確に制御することができる真空蒸着装置を提供する【解決手段】真空チャンバー1内に複数の蒸発源2と被蒸着体3とを配置すると共に蒸発源2と被蒸着体3の間の空間を加熱された筒状体4で囲むようにした真空蒸着装置に関する。各蒸発源2を個別に筒状体4内と接続する接続筒部12と、接続筒部12の内径を狭める絞り部13と、蒸発源2から気化した物質9が通過する接続筒部12の内周の開口度を調整可能な開閉手段6と、蒸発源2から気化した物質9を蒸着させてその蒸着厚みを計測する個別蒸着厚み計測手段7と、各個別蒸着厚み計測手段7で計測される蒸着厚みに応じて、各接続筒部12の開閉手段8の開口度を調整する開閉制御手段8とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空チャンバー内に複数の蒸発源と被蒸着体とを配置すると共にこれらの蒸発源と被蒸着体の間の空間を蒸発源の物質が気化される温度で加熱された筒状体で囲み、蒸発源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置において、各蒸発源を個別に筒状体内と接続する接続筒部と、蒸発源と筒状体との間の位置において各接続筒部の内周に設けられ、接続筒部の内径を狭める絞り部と、蒸発源と絞り部の間において各接続筒部に設けられ、蒸発源から気化した物質が通過する接続筒部の内周の開口度を調整可能な開閉手段と、絞り部と開閉手段の間において各接続筒部に設けられ、蒸発源から気化した物質を蒸着させてその蒸着厚みを計測する個別蒸着厚み計測手段と、各個別蒸着厚み計測手段で計測される蒸着厚みに応じて、各接続筒部の開閉手段の開口度を調整する開閉制御手段とを備えて成ることを特徴とする真空蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 U

Fターム (7件)：

4K029AA24 , 4K029CA01 , 4K029DB12 , 4K029DB14 , 4K029DB18 , 4K029DB24 , 4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

真空蒸着装置及び真空蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-187123 出願人：松下電工株式会社, 城戸淳二
真空蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-218625 出願人：松下電工株式会社, 城戸淳二, トッキ株式会社

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