特許
J-GLOBAL ID：200903026242589011
組み合わせ式高速光学粗面計及び偏光解析器
スティーブン ダブリュ.ミークス
, スティーブン ダブリュ.ミークス について
ラスミン カディナー
ラスミン カディナー について
出願人/特許権者：
キャンデラ インストルメンツ
キャンデラ インストルメンツ について
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-085531
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365232
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：
【要約】【課題】 薄膜ディスク又はシリコンウエファーの欠陥、膜厚、汚染物質、粒子を計測するための装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明は、第1の角度において薄膜磁気ディスク上の第1の位置に向かって第1の信号を発生するための第1の電磁式信号発生源と、第2の角度において薄膜磁気ディスク上の第1の位置に向かって第2の信号を発生するための第2の電磁式信号発生源と、第1の位置を変化するために対象を回転するための回転装置と、対象から反射する該第1の信号の一部分を受信して第1の信号の半径方向部分及び該第1の信号の円周方向部分を決定するための第1の位置検知器と、対象から反射する第2の信号の反射された部分を受信し第2の信号の半径方向部分及び第2の信号の円周方向部分を決定するために第1の位置検知器から直角で位置決めされた第2の位置検知器とを有する。
請求項（抜粋）：
第1の対象の両側部から反射された光信号間の位相の相違を計測するための装置において、この装置が、第1の小型の光装置であって、該第1の小型の光装置が、該第1の対象の第1の面に向かって第1の光信号を伝送するための第1の光源であって、該第1の面で反射する該第1の光信号が第1と第2の反射偏光光信号構成要素を有する前記第1の光源と、前記第1の反射偏光光信号構成要素及び前記第2の反射偏光光信号構成要素を該反射された第1の光信号から分離するための第1の偏光スプリッタと、該第1の反射偏光光信号構成要素の第1の強度を検知するための第1の検知器と、該第2の反射偏光光信号構成要素の第2の強度を検知するための第2の検知器と、更に該第1と第2の強度に基づいて、該第1と第2の反射偏光光信号構成要素間の位相の第1の相違を決定するための第1の位相決定器と、を有する該第1の小型の光装置と、第2の小型の光装置であって、該第2の小型の光装置が、該第1の対象の第2の面に向かって第2の光信号を伝送するための第2の光源であって、該第2の面で反射する該第2の光信号が第3と第4の反射偏光光信号構成要素を有する前記第2の光源と、前記第3の反射偏光光信号構成要素及び前記第4の反射偏光光信号構成要素を該反射された第2の光信号から分離するための第2の偏光スプリッタと、該第3の反射偏光光信号構成要素の第3の強度を検知するための第3の検知器と、該第4の反射偏光光信号構成要素の第4の強度を検知するための第4の検知器と、更に該第3と第4の強度に基づいて、該第3と第4の反射偏光光信号構成要素間の位相の第2の相違を決定するための第2の位相決定器と、を有する該第1の小型の光装置と、を具備する装置。
IPC (6件)：
FI (6件)：
Fターム (40件)：
2F065AA02
, 2F065AA03
, 2F065AA24
, 2F065AA30
, 2F065AA49
, 2F065AA50
, 2F065BB03
, 2F065CC03
, 2F065CC19
, 2F065CC31
, 2F065FF10
, 2F065FF49
, 2F065FF50
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065JJ08
, 2F065JJ16
, 2F065JJ18
, 2F065LL12
, 2F065LL21
, 2F065LL32
, 2F065LL33
, 2F065LL35
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065MM04
, 2F065QQ25
, 2G051AA51
, 2G051AA71
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EC03
, 5D112JJ05
引用特許：
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