特許

J-GLOBAL ID：200903026277719538

レーザー励起X線発生装置及び方法

発明者： 近藤 公伯 ,  三浦 永祐
出願人/特許権者： 株式会社筑波リエゾン研究所
代理人 (1件)： 光田 敦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287385
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068296
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 デブリーフリーで高輝度軟X線源を作り出すことができ、X線変換効率がすぐれた構造が簡単、小型で低コストのレーザー励起X線発生装置及び方法を提供する。【解決手段】 パルスガスジェット装置3で、高真空チャンバー4に希ガス2を噴出することによって希ガスクラスター5を発生させる、高出力レーザー装置9で希ガスクラスター5に超短パルス高出力レーザー6を集光して照射し、軟X線10を発生する。

請求項（抜粋）：

真空中にガスを噴出し、該ガスにレーザー光を照射してX線を発生させるレーザー励起X線発生装置であって、真空室と、上記真空室に上記ガスを噴出することによってクラスターを発生させる装置と、上記クラスターに超短パルス高出力レーザーを集光して照射し、上記クラスターを励起してX線を発生するためのレーザー装置と、上記X線を上記真空室から導出する導出部とを有することを特徴とするレーザー励起X線発生装置。

Fターム (5件)：

4C092AA06 ,  4C092AA07 ,  4C092AA14 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09