特許
J-GLOBAL ID:200903026280412214

放熱用部材の製造方法および放熱用部材を用いた半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  中野 晴夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-146565
公開番号(公開出願番号):特開2008-300713
出願日: 2007年06月01日
公開日(公表日): 2008年12月11日
要約:
【課題】絶縁シートの欠けや切り屑の発生なしに、ヒートシンクの表面形状に合わせて絶縁シートを加工する方法を提供する。【解決手段】ヒートシンク10に絶縁シート20が接着された放熱性部材の製造方法が、平行に配置された上部プレス板240と下部プレス板230とを準備する工程と、下部プレス板上に、ヒートシンク、絶縁シート、および変形性部材210をこの順に重ねて配置する工程と、上部プレス板と下部プレス板との間で変形性部材をヒートシンクに向かってプレスし、ヒートシンクと上部プレス板との間からヒートシンクの側面側に変形性部材を変形させてはみ出させ、はみ出した変形性部材によりヒートシンクの側面に沿って絶縁シートを切断する工程とを含む。【選択図】図4
請求項(抜粋):
ヒートシンクに絶縁シートが接着された放熱性部材の製造方法であって、 平行に配置された上部プレス板と下部プレス板とを準備する工程と、 該下部プレス板上に、ヒートシンク、絶縁シート、および変形性部材をこの順に重ねて配置する配置工程と、 該上部プレス板と該下部プレス板との間で該変形性部材を該ヒートシンクに向かってプレスし、該ヒートシンクと該上部プレス板との間から該ヒートシンクの側面側に該変形性部材を変形させてはみ出させ、該はみ出した該変形性部材により該ヒートシンクの該側面に沿って該絶縁シートを切断する切断工程とを含むことを特徴とする放熱性部材の製造方法。
IPC (1件):
H01L 23/36
FI (1件):
H01L23/36 Z
Fターム (9件):
5F136BA30 ,  5F136BC05 ,  5F136DA07 ,  5F136FA02 ,  5F136FA03 ,  5F136FA52 ,  5F136FA61 ,  5F136FA75 ,  5F136GA12
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)

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