特許

J-GLOBAL ID：200903026296048652

耐腐食性電極接続を備えた静電チャック

発明者： シャモイル シャモイリアン ,  マヌーチャー ビラング ,  アラン ゴールドスピール ,  ロン ノースラップ ,  サッソン ソメクー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-033891
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055904
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 ペデスタル端部を越えて延びた静電積層ストラップ領域を除去することにより、プラズマに晒される静電積層領域を減少すること。【構成】 静電チャックは、半導体基板(8)を処理チャンバ内の所定位置に固定するために設けられる。静電チャックの電極(34)の電気接続は、ペデスタル(30)を介して、チャックのストラップ部を処理環境により生じる腐食から保護するために提供されている。

請求項（抜粋）：

処理チャンバ内で処理する為の半導体基板を受容するペデスタル上の配置の為の静電チャックであって、上記ペデスタル上に受容され、内部に電極を有する静電部材と、上記ペデスタルを通じて伸び電極と係合する電極電圧供給用リードと、を備える静電チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  B23Q 3/15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 静電チャック及びこの静電チャックを備えたプラズマ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-204801   出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東芝
• 特開平3-283445
  
• 特開平4-078133