特許
J-GLOBAL ID：200903026309026912
微粒子測定方法及び微粒子測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-220628
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086737
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 所定の領域での微粒子の径と数を外部からしかも装置を走査することなく測定する。【構成】 レーザ光源1,2にて生成される観測面に対して偏光方向が90°の第1のレーザ光λ1と、観測面に対して偏光方向が0°で前記第1のレーザ光と波長が異なる第2のレーザ光λ2を同一方向からレンズ系6に入射せしめてシート状照射光Lとし、この照射光Lを測定対象空間Sに照射し、この測定対象空間S内の所定の平面的な領域から散乱光をレンズ系11で取り出し、当該散乱光を偏光方向が90°の散乱光と偏光方向が0°の散乱光に分離して撮像素子16,17に入射せしめ、各偏光成分毎の散乱光強度比から測定対象空間内に存在する微粒子群の代表的な粒子の大きさ及び粒子濃度の二次元的な分布を求める。
請求項（抜粋）：
所定角度の偏光成分からなる第1のレーザ光と、この第1のレーザ光と偏光角度及び波長が異なる第2のレーザ光とを同一方向から照射光として測定対象空間に照射し、この測定対象空間からの散乱光を所定の平面的な領域から取り出し、当該散乱光を波長毎に分離することで散乱光を偏光成分毎の散乱光に分離して撮像素子に入射せしめ、各偏光成分毎の散乱光強度比から測定対象空間内に存在する微粒子群の代表的な粒子の大きさ及び粒子濃度を求めるようにしたことを特徴とする微粒子測定方法。
引用特許：
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