基板ハウジング及びドッキングシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-512750
公開番号（公開出願番号）：特表平10-500256
出願日： 1995年10月10日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】半導体ウェーハ、平担パネルディスプレイ及びマスクといったような基板を保管しかかる基板を実質的に清浄な環境内に維持するためのモジュール式ポータブルハウジング。基板は、それらを互いに対し間隔をあけて関係で維持する複数のコーム(206,198)によってハウジング内に支持される。ハウジング内部へのアクセスは、旋回扉アセンブリ(118)によって可能となっている。ドッキングユニットは、清浄な環境とハウジングとのインターフェースを可能にする。ドッキングユニット内に具備された制御回路がハウジングの存在を検出し、通信リンクを通してホストコンピュータにより誘導される通りハウジングを装てん/取出しする。好ましくはハウジング内の基板についての経歴及びその他の情報を記憶するためハウジングにはメモリーデバイス(103)が取りつけられる。ホストコンピュータがメモリー(103)からの基板情報を検索し情報をホストコンピュータへ中継するよう制御回路を誘導する。基板の処理中は処理後、ホストコンピュータは、望まれる通りにメモリー(103)を更新する。このようにして、ホストコンピュータは単数又は複数のドッキングユニット及び付随する基板ハウジングを制御しトラッキングする。

請求項（抜粋）：

複数の基板を実質的に清浄な環境内で維持するためのハウジングであって、内部空間及び一端に開口部を有する箱と、前記複数の基板を前記内部空間内に摺動可能に収容及び支持し且つ前記複数の基板の各々を互いに間隔をあけた関係で維持するために前記箱に一体的に取りつけられた複数のコームと、閉鎖位置にあるときに前記開口部を覆い且つ開放位置にあるときに前記内部空間に対するアクセスを可能にするために前記箱の前記開口部に隣接して取りつけられた扉アセンブリとを備えたハウジング。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86 , H01L 21/02

FI (3件)：

H01L 21/68 V , H01L 21/02 D , B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

半導体ウエーハ保管・運搬容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-238521 出願人：九州日本電気株式会社
加圧インタフェース装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-158474 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
移動コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-115938 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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