多関節ロボット

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村瀬一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107900
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296677
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】オリエンテーション、即ちワークの向き合わせのため専用に必要な面積を削減し、ワークの両面に非接触で向き合わせを行うようにする。【解決手段】回転テーブル等の第1アーム3と第2アーム4とウェハ等のワーク5を保持可能なハンド部6とを回転可能に連結し、カセット等の第1の位置にあるワーク5をハンド部6により取り出して仮置き位置に仮置きし、該ワーク5を再度ハンド部6により取り直してプロセス装置等の第2の位置10に設置する多関節ロボット1において、ワーク5に形成されたノッチ等の被検出部5aを検出するセンサ25を第1アーム3と第2アーム4とによるワーク5の回転域に設けると共に、仮置き位置となる仮置きハンド部26を基台と一体に設け、ハンド部6にワーク5を保持した状態で第1アーム3と第2アーム4とによりワーク5を回転させながらセンサ25により被検出部5aを検出してワーク5の保持角度θeを検出し、この保持角度θeに基づいてワーク5を所定角度で仮置きハンド部26に仮置きする。

請求項（抜粋）：

基台に対して回転可能な第1アームに第2アームを回転可能に連結して前記第2アームの先端にワークを保持可能なハンド部を有すると共に、第1の位置にあるワークを前記ハンド部により取り出して仮置き位置に仮置きし、前記仮置き位置にある前記ワークを再度前記ハンド部により取り直して第2の位置に設置する多関節ロボットにおいて、前記ワークに形成された被検出部を検出するためのセンサを前記第1アームと第2アームとによる前記ワークの回転域に設けると共に、前記ワークの前記仮置き位置となる仮置きハンド部を前記基台と一体に設け、前記ハンド部に前記ワークを保持した状態で前記第1アームと第2アームとにより前記ワークを回転させながら前記センサにより前記被検出部を検出して前記ワークの保持角度を検出し、この保持角度に基づいて前記ワークを所定の角度で前記仮置きハンド部に仮置きすることを特徴とする多関節ロボット。

IPC (5件)：

B25J 19/00 , B25J 9/10 , B25J 13/08 , B25J 15/08 , B25J 17/00

FI (5件)：

B25J 19/00 C , B25J 9/10 A , B25J 13/08 , B25J 15/08 D , B25J 17/00 G

引用特許：

出願人引用 (1件)

物品識別装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-245391 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社

審査官引用 (1件)

物品識別装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-245391 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社

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