特許

J-GLOBAL ID：200903026442443577

精密切削装置

発明者： 荒木 源司
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-192682
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039540
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】 切削水や切削屑(コンタミ)等の影響を受けることなく正確に回転ブレードの摩耗、破損、折損等を検出することが出来、センサの検出部を常に清掃する必要がなく、しかもブレード交換作業に支障を来さないような検出手段を備えた精密切削装置を提供する。【構成】 回転ブレードによって被加工物を切削する精密切削装置において、この精密切削装置には回転ブレード状態を検出する渦電流式センサが配設され、この渦電流式センサのセンサヘッドが回転ブレードに近接して配設される。回転ブレードとセンサヘッドとの間隔は0.3mm以下とする。

請求項（抜粋）：

回転ブレードによって被加工物を切削する精密切削装置において、この精密切削装置には回転ブレード状態を検出する渦電流式センサが配設され、この渦電流式センサのセンサヘッドが前記回転ブレードに近接して配設されている精密切削装置。

IPC (3件)：

B28D 5/00 ,  B23Q 17/09 ,  H01L 21/301

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ダイシング方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-304205   出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社
• 特開昭51-040165