特許
J-GLOBAL ID:200903026474432976
溶液中レーザーアブレーションの制御方法および装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 文廣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-258125
公開番号(公開出願番号):特開2004-090081
出願日: 2002年09月03日
公開日(公表日): 2004年03月25日
要約:
【課題】音響強度信号を用いた溶液中レーザーアブレーションにおいて、スパイク信号に影響されない制御方法を提供する。【解決手段】セル1、溶液2,ターゲット3,レーザ4、レンズ5、音響センサ6、音響信号抽出部9,および最適制御部10からなる装置において、レーザパルスの発振開始点を基準にして、時間軸上でスパイク信号の影響を受けない信号点を求めて、この信号点の音響出力が最大になるようにレーザ照射位置を制御する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
溶液中に設置したターゲット金属に高出力のレーザー光を照射した時に発生する音響信号を検出してレーザー光の最適照射位置を制御するレーザーアブレーションの制御方法において、検出した音響信号中でスパイク信号の影響を受けない信号部分の振幅が最大となるように、レーザー光の照射位置を制御することを特徴とする溶液中レーザーアブレーションの制御方法。
IPC (2件):
FI (3件):
B23K26/12
, B23K26/00 M
, B23K26/00 P
Fターム (3件):
4E068CA11
, 4E068CC00
, 4E068CJ07
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